Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上，结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点，采用广受好评的专业触屏软件全自动控制，是提高MEMS研发与生产效率的必备利器。
产品特点：
专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用 最大可处理8"晶圆，每次最多可处理5个晶圆 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架 标配专用样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，节省LCO2用量，缩短干燥时间，提高干燥效率 LCD触控屏 可编程触屏控制界面，全自动控制 多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用 慢速充液功能，适用于各种易损样品 独有“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品 高效内部冷却回路，快速降温，节省40%LCO2 专用内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音 外置两级过滤系统，可过滤LCO2内0.08μm以上杂质 外置吹扫后过滤器，便于仪器维护 非机械式吹扫搅拌技术，免维护 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性 精确参数控制，确保处理结果重复性
样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态 无尘室防静电兼容设计 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准
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C系列干燥仪参数对比：
型号 | Automegasamdri®-934 Series C | Automegasamdri®-936 Series C | Automegasamdri®-938 Series C |
产品编号
| 8788A | 8788B | 8788C |
| 样品室尺寸 | 4.5"(内径)×1.25"(深) | 6.5"(内径)×1.25"(深) | 8.5"(内径)×1.25"(深) |
| 样品室容积 | 326 ml | 679 ml | 1162 ml |
| 降温时间 | <3 min | <4 min | <5 min |
| 样品室内环 | 4", 3", 2", 1.25" | 6", 4", 3", 2", 1.25" | 8", 6", 4", 3", 2", 1.25" |
| HF相容晶圆架 | 4", 3", 2", 10mm | 6", 4", 3", 2", 10mm | 8", 6", 4", 3", 2", 10mm |
| 温度压力范围 | - 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi |
| 设备尺寸 | 50.3 cm (宽) × 80.6 cm (深) × 113.0 cm (高)
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标配附件：
柔性高压LCO2进液管线，3.0 m（无尘室) 外置两级LCO2过滤装置（去油/水及0.5 μm以上颗粒物） 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2） 样品室内环，内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆 HF相容晶圆架[8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架，每个支架最多可放置5片晶圆或样品 安装工具
用户说明书及数据表 2年质保及终生免费技术支持
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